目前，我國從事半導體設備研究和制造的單位約60家，其中主要單位20家，一批新興的由高素質人員組建的半導體設備公司陸續(xù)注冊并已投入產品開發(fā)工作。國產設備的銷售方向主要是院校和研究所中的科研型集成電路生產線及分立器件、LED、太陽能電池、SAW、電力電子等其他應用半導體設備的領域。國內半導體設備業(yè)的總體技術水平大致如下：0.5μm生產線主要設備的原型樣機已提供給用戶；一批8英寸設備正在研制中，有的已通過驗收；幾臺100nm水平的關鍵設備已取得不同程度的進展，有的已完成β樣機的研制，并已在用戶的生產線上安裝，目前正處于驗收階段；幾種12英寸關鍵設備的α樣機研制也已取得重要進展。

國產半導體設備起步比較早，上世紀五六十年代，國家已經開始著手研制，改革開放后，吸收了一些國際先進技術，逐步擁有了自主知識產權，在國內半導體市場上，國內廠商還是有一定實力的，而且在中低檔市場上擁有一定的用戶群。

目前，在國內有多家供應商，可提供前、后道多種工藝設備，在6英寸以下分立器件、集成電路生產線上使用，技術水平可滿足工藝要求，如氧化/擴散設備、清洗設備等。
有些廠家引進了6英寸-8英寸集成電路生產線的二手設備，其中也出現了一些問題，現在有部分廠家生產線的關鍵工藝設備開始使用國產設備，這些設備起到了較好的填平補齊的作用。此外，信息產業(yè)部也予以大力支持，設備的實用化又有了新的發(fā)展，清洗、擴散/氧化/CVD設備也得到了很快發(fā)展。

雖然很多高檔的半導體設備仍然依賴進口，沒有進入大生產線，但是目前，七星華創(chuàng)、中電科技集團公司第45研究所等多家單位都在努力，希望在中高檔設備上有所突破。

總的來說，經過了“十五”的磨煉，我國半導體設備行業(yè)基礎逐步扎實，思路漸漸清晰，實力不斷增強，水平悄然提高，部分(產品)有所突破，整體尚需努力，環(huán)境空前寬松，壓力始終存在，機遇前所未有，差距依然巨大。

過去的五年，是我國半導體行業(yè)發(fā)展最為迅猛的時期，盡管與我國快速發(fā)展的半導體和集成電路產業(yè)相比，國內半導體設備制造業(yè)的發(fā)展相對緩慢，但與前幾個五年計劃時期相比卻是獲得最實質性進步的五年。其特點表現在：從業(yè)企業(yè)尤其是骨干企業(yè)經過多年的累計投入，制約發(fā)展的設計及加工條件和能力都不同程度地得到改善，與國際先進半導體設備制造商在硬件條件上的差距逐步縮??；發(fā)展理念從

以前的什么設備都做、眉毛胡子一把抓卻什么都做不好到更專注于自己擅長的設備，持續(xù)不斷地研發(fā)完善提高；從單純追求設備性能指標的實現、追求設備的國產化率、追求是否能夠獲獎是否能夠填補空白到追求設備的實用性及可靠性以及追求是否能夠滿足市場需求、滿足客戶的實際工藝需要而獲得真正應用。

我國半導體集成電路產業(yè)的高速成長，國家對裝備行業(yè)的空前重視，與國外日趨方便的交流方式和日益多樣的合作渠道，為我國半導體設備行業(yè)的發(fā)展提供了前所未有的機遇。但國際著名廠商的本土化進入和目前國內廠家寥寥數個百分點的市場占有率、每年不足5億元人民幣的市場規(guī)模，則預示著新一輪殘酷競爭的開始和并未減輕的生存壓力，機遇與挑戰(zhàn)并存！

國產半導體設備目前已具備了6英寸芯片及以下生產線的整機生產能力，大多還是應于國內實驗線，部分產品具備8英寸研發(fā)水平。與國際先進水平相比，整體技術水平的差距依然是巨大的。如還沒有一種設備能真正進入國內主流的8英寸乃至6英寸芯片生產線，設備廠家由于沒有自己的工藝實驗線而必須被動地依賴用戶的“短板”問題仍然沒能得到有效改善等，這些都需要在未來的發(fā)展中加以解決。

應該看到，國產半導體設備正在逐漸成熟。然而，相對于集成電路制造業(yè)，我國半導體設備制造業(yè)的發(fā)展還緩慢得多，其生產規(guī)模、研發(fā)水平、投資強度等方面要差得多。新建的集成電路生產線以8英寸為主，其生產設備仍然是國外設備居多。此外，大量價格低廉的國外二手設備涌入我國，也給國產設備造成了極大的市場壓力，它們搶奪了大部分的市場份額，同時也極大地縮小了國產設備的利潤空間。

從產業(yè)政策方面講，國家對設備制造業(yè)的支持力度也不夠大，研發(fā)投入少得可憐。而且，國內設備制造業(yè)與工藝生產相脫節(jié)，缺乏工藝方面的支撐，其研發(fā)周期相對較長。更為重要的是，長期以來，我國半導體設備行業(yè)落后的事實，使得國內的絕大部分客戶對國產設備心存疑慮，信心不足，這使得國產設備進入生產線一試身手的機會很小，因此難以獲得改進提高的機會，國產設備的工藝適應性不高，如此陷
入惡性循環(huán)，使國產設備進退兩難。

國內的半導體行業(yè)正處于萌芽階段，但也發(fā)展得相當快。目前的發(fā)展主要著重于零件、組件和國內客戶生產所需的系統(tǒng)制造這兩個方面。

目前，我國半導體設備業(yè)有一種向上突破的勢態(tài)，如上海、沈陽等地都宣稱要成為半導體設備的基地，并有相應大的動作，如上海中微正在搞世界一流的半導體工藝設備CVD及腐蝕，并已生產出樣機提供給客戶使用；沈陽正在與應用材料公司合作加工生產大型部件，并一次獲得質量通過。
國產半導體設備目前的優(yōu)勢是什么？突破點在哪里？

從技術角度看，國產半導體設備尚無優(yōu)勢可言，目前仍處于追趕階段。從長遠觀點來看，發(fā)展國產半導體設備的優(yōu)勢一是在于國家非常重視包括半導體設備在內的裝備制造業(yè)，“十一五”期間將成為我國制造業(yè)的發(fā)展重點，這為我國半導體設備的發(fā)展營造了很好的宏觀氛圍，必將有利于我國半導體設備的快速發(fā)展。二是在于國產半導體設備最接近目前成長力最強的中國市場，接近市場既有利于設備的開 發(fā)和與工藝單位的密切配合，也有利于售后的維修服務和長遠的零部件供應。三是國產半導體設備具有較大的價格優(yōu)勢，一般價格在進口設備的1/2或以下。

因此，國產半導體設備只要在技術上和服務上能夠滿足用戶需要，我認為是會被國內集成電路生產廠家所接受的，問題在于我們能否下決心去做和怎樣去做。因此，我們鼓勵國內半導體設備單位抓住這一難得的市場機遇加快發(fā)展我國的半導體設備，同時我們也非常歡迎國外的半導體設備廠商到中國來發(fā)展。

國產半導體的優(yōu)勢在于：
1.價格相對便宜，在性能相同的情況下，采購商會考慮價格因素。
2.零配件提供方便，國內設備在長期使用過程中備品備件有保證。
3.服務便利，在國內購買設備后，出現故障后維修服務及時，能夠很快速地解決問題，國內廠商也越來越注重加強自身服務意識。
4.在中、低檔市場上有穩(wěn)定的客戶群，經過了四五十年的發(fā)展，國產半導體設備在中低檔市場上已經擁有了一些穩(wěn)定的客戶。

國產半導體設備要有所突破，首先要根據客戶需要研發(fā)新產品，在固有技術上不斷提高，要進一步進行自主知識產權的開發(fā)，隨著客戶需求的不斷提高，在適應過程中不斷完善，并且真正形成具有我國特點的自主品牌。其次還要尋找常規(guī)生產用工藝設備，充分利用合資、技術合作、技術轉讓等手段，加大研制力度，爭取短期內進入中高端集成電路生產線。

價格是國產半導體設備與國外產品競爭的唯一優(yōu)勢。高端設備由于缺乏競爭力而沒有可比性，在具備生產能力的中低端產品上，價格往往成為國產設備競爭的殺手锏。嚴格來講，應該是性能價格比。在基本同等的技術水平下，國產設備價格一般只有進口設備的1/10-1/3，這對要求投資回報率高資金回收快的用戶無疑具有巨大的誘惑力。只要有成功應用的先例，就能吸引成批的買主。當然，使用成本低、備品備件便宜、維護保養(yǎng)方便快捷、中文操作界面等也是國產設備不可忽略的優(yōu)勢，尤其在價格同樣也是客戶對外競爭主要手段的行業(yè)，低價格意味著低的產品分攤成本，意味著競爭力的提高，我國太陽能電池制造行業(yè)大量采用國產設備就是一個最好的例子。另外，相對而言，國內廠家對國內市場和客戶的了解程度更深，與用戶的溝通更通暢，更易達成一致。

國產設備的優(yōu)勢在于：產品優(yōu)勢，國產設備生產企業(yè)對國內下游企業(yè)的實際情況更為了解，可為其提供更為適宜的量身定做的設備，如適宜操作的人機界面、簡捷高效的功能等，可使顧客充分利用資源；價格優(yōu)勢，國內設計、生產、供應、運輸、服務等環(huán)節(jié)成本較低，與國外企業(yè)相比有絕對的價格優(yōu)勢；地域優(yōu)勢，本土企業(yè)可以提供更快捷的服務，更直接的面對面交流和人員溝通，低價格的上門服務和操作培訓，價優(yōu)、量足、易得的備品備件，可以為顧客節(jié)約大量的運行成本，方便的物流系統(tǒng)可以提供點對點的貨物運送，省去諸如報關、港口提貨等繁雜的進口手續(xù)；人員優(yōu)勢，專用設備一般都采用面對面的人員推銷方式進行銷售，國內銷售人員對行業(yè)發(fā)展情況比較了解，可以為顧客提供投資建議、采購咨詢、產業(yè)鏈溝通等幫助，更有利于新用戶的開發(fā)；民族情感，一種強烈的民族氣節(jié)，振興國家基礎工業(yè)的民族感情驅使人們支持國產設備。

國產設備的突破點：國產半導體設備應該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢和價格優(yōu)勢，加緊縮小與國外設備的技術差距，加強服務意識，樹立顧客為本，以顧客需求為導向的經營理念，為國內顧客提供量身定做的產品，以產品差異化切入市場，建立起快速反應的服務機制，給國內用戶以足夠的信心。

我們非常高興看到國內這樣的成長速度，因為這對整個市場來說會起著一種刺激性和支持性的作用。一旦有了競爭，全球的制造者更會努力進行研發(fā)以求進步。目前的國產半導體設備商把重心放在0.2微米以上的技術，所以應該把握國家的各方面支持、對本地市場的認識以及擁有眾多工程精英等優(yōu)勢來開拓國內的無限商機。在我們看來，這就是國產半導體設備的最大優(yōu)勢。

國內設備商和外國商家合作的機會也會隨著國內市場的蓬勃而日漸增長。這些合作方式將有利于國內廠商在制造過程增添更豐富的知識和經驗，并幫助中國半導體設備企業(yè)開拓國外市場。

國產設備如何立足半導體市場（二）